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薄膜压力传感器的工作原理时怎样的?

更新时间:2023-12-23      点击次数:728
  薄膜压力传感器是一款在柔韧、极薄、轻型的薄膜材料上构筑有电阻低的导电电极并印刷附着力强、耐弯折、灵敏度高的柔性纳米功能材料,使其实现对高灵敏度压力检测的电阻式薄膜传感器。
  薄膜压力传感器在测量过程中,压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,同时通过电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号,这样的过程就是薄膜压力传感器进行测量的过程。
  薄膜压力传感器是利用现代薄膜制备技术,在金属弹性基体上沉积薄膜应变电阻,因其具有精度高、蠕变性好、抗干扰力强等性能,目前已被广泛的运用在航空航天、机械制造、土木采矿等相关领域的压力测量。薄膜压力传感器厚度低至几百纳米到几十微米,可直接在被测零件表面制膜而不影响设备内部环境,制作简单,有利于实现结构/感知一体化制造。
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