薄膜压力传感器的工作原理时怎样的？

　　薄膜压力传感器是一款在柔韧、极薄、轻型的薄膜材料上构筑有电阻低的导电电极并印刷附着力强、耐弯折、灵敏度高的柔性纳米功能材料，使其实现对高灵敏度压力检测的电阻式薄膜传感器。

　　薄膜压力传感器在测量过程中，压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，同时通过电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号，这样的过程就是薄膜压力传感器进行测量的过程。

　　薄膜压力传感器是利用现代薄膜制备技术，在金属弹性基体上沉积薄膜应变电阻，因其具有精度高、蠕变性好、抗干扰力强等性能，目前已被广泛的运用在航空航天、机械制造、土木采矿等相关领域的压力测量。薄膜压力传感器厚度低至几百纳米到几十微米，可直接在被测零件表面制膜而不影响设备内部环境，制作简单，有利于实现结构/感知一体化制造。